เป้าสปัตเตอร์บัสบาร์ทองแดงบริสุทธิ์สูง (4N-6N)

เป้าหมายการสปัตเตอร์แบบบัสบาร์ทองแดงบริสุทธิ์สูง – คำชี้แจงเกี่ยวกับกระบวนการและการประกันคุณภาพ

แท่งทองแดงเป้าหมายของเราได้รับการพัฒนาขึ้นโดยเฉพาะสำหรับการเคลือบด้วยไอระเหยทางกายภาพในพื้นที่ขนาดใหญ่และปริมาณมาก ซึ่งการเคลือบที่สม่ำเสมอในระยะทางยาวมีความสำคัญอย่างยิ่ง

คุณลักษณะสำคัญของกระบวนการ

กระบวนการผลิตใช้เทคนิคทางโลหะวิทยาและการกลึงขั้นสูงเพื่อให้ได้ประสิทธิภาพที่สม่ำเสมอ:
●วัสดุเริ่มต้น: ใช้แคโทดทองแดงอิเล็กโทรไลต์คุณภาพสูงที่ผ่านการตรวจสอบความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษเป็นวัสดุพื้นฐาน
●การกลั่นแบบสุญญากาศ: ขั้นตอนการหลอมแบบสุญญากาศหลายขั้นตอนจะกำจัดสิ่งเจือปนที่เป็นก๊าซและโลหะออกไป เพื่อให้ได้ระดับไนโตรเจน 4N-6N
●การหล่อแบบต่อเนื่อง: การอัดรีดร้อนแบบควบคุมหรือการหล่อแบบต่อเนื่องจะผลิตแท่งโลหะยาวและหนาแน่นที่มีโครงสร้างสม่ำเสมอ
●การขึ้นรูปด้วยความร้อน: การตีขึ้นรูปและการรีดช่วยปรับขนาดเกรนให้ละเอียดขึ้นและทำให้ได้ความหนาแน่นใกล้เคียงกับค่าทางทฤษฎีสูงสุด
●การตัดและการขึ้นรูปที่แม่นยำ: การเลื่อยและการกัดด้วยเครื่อง CNC สร้างรูปทรงสี่เหลี่ยมผืนผ้าที่แม่นยำโดยมีพื้นผิวขนานกัน
●การเตรียมพื้นผิว: การเจียรและการขัดหลายขั้นตอนทำให้ได้พื้นผิวสำหรับการพ่นเคลือบที่สะอาดและปราศจากตำหนิ
●ตัวเลือกการยึดติด: สามารถเลือกใช้การยึดติดด้วยอินเดียมที่อุณหภูมิต่ำหรือวัสดุอีลาสโตเมอร์กับแผ่นรองหลังสแตนเลสหรือโมลิบเดนัมได้
●บรรจุภัณฑ์สำหรับห้องปลอดเชื้อ: การทำความสะอาดด้วยคลื่นอัลตราโซนิคขั้นสุดท้ายและการปิดผนึกสุญญากาศแบบสองชั้นช่วยให้มั่นใจได้ว่าสินค้าจะส่งถึงมือผู้รับโดยปราศจากสิ่งปนเปื้อน

ระบบควบคุมคุณภาพ

● สามารถตรวจสอบย้อนกลับได้อย่างสมบูรณ์ ตั้งแต่แหล่งกำเนิดแคโทดจนถึงบัสบาร์สำเร็จรูป
● มีเอกสารรับรองวัสดุและรายงานการทดสอบครบถ้วนสำหรับทุกหน่วย
● ตัวอย่างที่เก็บรักษาไว้ในคลังข้อมูลอย่างน้อย 3 ปี เพื่อการตรวจสอบโดยหน่วยงานอิสระ (SGS, BV เป็นต้น)
● ตรวจสอบพารามิเตอร์ที่สำคัญครบ 100%:
• การตรวจสอบความบริสุทธิ์ (การวิเคราะห์ GDMS/ICP; โดยทั่วไปออกซิเจนจะมีปริมาณน้อยกว่า 5 ppm)
• การทดสอบความหนาแน่น (≥99.5% ของค่าทางทฤษฎี)
• การประเมินโครงสร้างเกรน (โลหะวิทยา)
• ความแม่นยำของขนาด (CMM; ความขนานโดยทั่วไป ≤0.1 มม.)
• คุณภาพและความเรียบของพื้นผิว (เครื่องวัดความเรียบของพื้นผิว + การตรวจสอบในห้องปลอดเชื้อ)
● คุณสมบัติภายในเหนือกว่ามาตรฐาน ASTM F68 คุณลักษณะทั่วไป: ค่าการนำความร้อน >395 W/m·K, พฤติกรรมการสปัตเตอร์แบบปราศจากประกายไฟที่สม่ำเสมอ, อัตราการตกตะกอนสูงในระบบแมกเนตรอน