เป้าสปัตเตอร์ทองแดงบริสุทธิ์สูง – ทรงสี่เหลี่ยม (4N-6N)

เป้าหมายการสปัตเตอร์ทองแดงความบริสุทธิ์สูง – คำแถลงเกี่ยวกับกระบวนการและการประกันคุณภาพ

แผ่นเป้าหมายทองแดงรูปสี่เหลี่ยมของเราผลิตขึ้นตามมาตรฐานที่เข้มงวดซึ่งจำเป็นสำหรับการตกตะกอนฟิล์มบางที่เชื่อถือได้ในกระบวนการเคลือบขั้นสูง
กระบวนการผลิตเป็นไปตามขั้นตอนการทำงานแบบสุญญากาศที่มีการควบคุมอย่างเข้มงวด เพื่อรักษาความบริสุทธิ์และความสม่ำเสมอของวัสดุในระดับสูงมาก:
●การคัดเลือกวัตถุดิบ: ใช้เฉพาะแคโทดทองแดงอิเล็กโทรไลต์ที่ได้รับการรับรอง (≥99.99%) เป็นวัตถุดิบเริ่มต้นเท่านั้น
●การหลอมในสุญญากาศ: การหลอมด้วยการเหนี่ยวนำภายใต้สุญญากาศสูงหรือบรรยากาศเฉื่อยช่วยลดการดูดซับออกซิเจนและสิ่งเจือปนระเหยได้ให้น้อยที่สุด
●การหล่อและการกลั่น: การแข็งตัวแบบควบคุมทิศทางทำให้ได้แท่งโลหะที่มีองค์ประกอบสม่ำเสมอและมีการแยกตัวน้อยที่สุด
●การขึ้นรูปด้วยความร้อน: การตีขึ้นรูปหรือการอัดขึ้นรูปด้วยความร้อนช่วยให้ได้ความหนาแน่นใกล้เคียงกับค่าทางทฤษฎีและโครงสร้างเกรนที่ละเอียดขึ้น
●การกลึงขึ้นรูปที่แม่นยำ: การกัดและการเจียรด้วยเครื่อง CNC ทำให้ได้ชิ้นงานที่มีขนาดเป็นสี่เหลี่ยมจัตุรัสที่แม่นยำ พร้อมพื้นผิวเรียบและขนานกัน
●การตกแต่งพื้นผิว: การขัดเงาหลายขั้นตอนให้ผิวสัมผัสเหมือนกระจก เหมาะสำหรับการใช้งานในห้องปลอดเชื้อ
●การยึดติดเพิ่มเติม: สามารถเลือกใช้การยึดติดด้วยอินเดียมหรืออีลาสโตเมอร์กับแผ่นรองหลังโมลิบเดนัม/ทองแดง เพื่อการจัดการความร้อนได้
●ขั้นตอนการทำความสะอาดและบรรจุภัณฑ์ขั้นสุดท้าย: ทำความสะอาดด้วยคลื่นอัลตราโซนิคในน้ำบริสุทธิ์พิเศษ ตามด้วยการซีลสุญญากาศในถุงสองชั้นที่สะอาด

ระบบควบคุมคุณภาพ

● สามารถตรวจสอบย้อนกลับได้อย่างครบถ้วน ตั้งแต่แคโทดดิบจนถึงชิ้นงานสำเร็จรูป
● ใบรับรองวัสดุและรายงานการทดสอบจะจัดส่งพร้อมกับสินค้าทุกชิ้น
● การเก็บรักษาตัวอย่างในคลังเอกสารอย่างน้อย 3 ปี เพื่อการตรวจสอบโดยหน่วยงานภายนอก (SGS, BV เป็นต้น)
● ตรวจสอบพารามิเตอร์ที่สำคัญ 100%
• ความบริสุทธิ์และสิ่งเจือปน (การวิเคราะห์ด้วย GDMS/ICP-MS; โดยทั่วไปมีออกซิเจน <10 ppm)
• การวัดความหนาแน่น (วิธีของอาร์คิมีดีส; ≥99.5%)
• ขนาดเกรนและโครงสร้างจุลภาค (การตรวจสอบทางโลหะวิทยา)
• ความแม่นยำของขนาด (CMM; ความเรียบโดยทั่วไป ≤0.05 มม.)
• ความหยาบของพื้นผิวและข้อบกพร่อง (เครื่องวัดความหยาบผิว + การตรวจสอบด้วยสายตา)
● คุณสมบัติภายในเกินกว่าข้อกำหนด ASTM F68 คุณสมบัติทั่วไป: ค่าการนำความร้อน >390 W/m·K, ค่าความต้านทานไฟฟ้า <1.7 μΩ·cm, อัตราการสปัตเตอร์และคุณภาพฟิล์มที่สม่ำเสมอ
● กระบวนการผลิตที่เข้ากันได้กับห้องปลอดเชื้อ และโรงงานที่ได้รับการรับรองมาตรฐาน ISO 9001:2015 ช่วยให้มั่นใจได้ว่าชิ้นงานทุกชิ้นตรงตามความต้องการที่เข้มงวดของงาน PVD สมัยใหม่